标签：EUV

2019-01-24张 妮娜

英特尔正准备在D1X 工厂加大对7nm EUV光刻工艺的研发，这座工厂位于美国俄勒冈州，晶圆厂扩建通常需要数十亿美元，而EUV光刻的大规模采用预计会增加额外成本。 英特尔目前正在努力完善一种称为极紫外光刻（EUV）的新制造工艺，这将使微芯片...