英特尔：采用超紫外线刻蚀技术
◎ 2003-05-26 存储在线
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关键词：Intel
荷兰设备制造商ASML声称，英特尔公司已经通知平板印刷设备提供商，英特尔将不再购买下一代平板印刷工具。
芯片制造巨头将不会购买所谓的157纳米平板印刷工具，而是希望能延长目前的193纳米技术的使用寿命，直到能够直接超紫外线（Extreme Ultra-Violet，EUV） 刻蚀技术。
EUV设备生产出的电子电路比157纳米工具更精细，目前该技术还处于研发阶段。ASML Holding是全球芯片蚀刻工具制造商的领头羊，也是英特尔公司的设备提供商。ASML声称英特尔已经告知了这个决定。对此英特尔还没有作出评论。ASML希望除了英特尔公司之外还有别的公司将购买153纳米蚀刻设备。
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